Internal stresses in plasma deposited polymer film coatings
Autor: | Amir Gumarov, I. R. Vakhitov, Yu. E. Polsky, Lenar Tagirov, I. V. Yanilkin, M. P. Danilaev, E. A. Bogoslov |
---|---|
Rok vydání: | 2018 |
Předmět: | |
Zdroj: | Physics and Chemistry of Materials Treatment. :21-26 |
ISSN: | 0015-3214 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |