Etching of 'Microwire-on-Insulator'-Type Structures
Autor: | E. G. Shustin, D. V. Kolodko, V. A. Luzanov, E. N. Mirgorodskaya, I. A. Sorokin, V. P. Tarakanov, M. P. Temiryazeva, E. S. Frolov |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Plasma Physics Reports. 48:638-644 |
ISSN: | 1562-6938 1063-780X |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: | |
Nepřihlášeným uživatelům se plný text nezobrazuje | K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit. |