Dopant Profiles by the Spreading Resistance Technique

Autor:	Robert G. Mazur
Rok vydání:	1986
Předmět:	Materials science Dopant Spreading resistance profiling business.industry Optoelectronics business
Zdroj:	ACS Symposium Series ISBN: 9780841209343 Microelectronics Processing: Inorganic Materials Characterization
DOI:	10.1021/bk-1986-0295.ch003
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7798dc60dae17e7d31e044c1f219c8b6 https://doi.org/10.1021/bk-1986-0295.ch003 Zobrazit plný text záznamu