Effect of substrate temperature on sputter-deposited boron carbide films

Autor:	L. B. Bayu Aji, S. J. Shin, J. H. Bae, A. M. Engwall, J. A. Hammons, X. Lepró, N. Catarineu, P. B. Mirkarimi, S. O. Kucheyev
Rok vydání:	2022
Předmět:	General Physics and Astronomy
Zdroj:	Journal of Applied Physics. 131:075304
ISSN:	1089-7550 0021-8979
DOI:	10.1063/5.0074470
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::770c28689f273972d5bfe38639e05bde https://doi.org/10.1063/5.0074470 Zobrazit plný text záznamu