Effect of substrate temperature on sputter-deposited boron carbide films
| Autor: | L. B. Bayu Aji, S. J. Shin, J. H. Bae, A. M. Engwall, J. A. Hammons, X. Lepró, N. Catarineu, P. B. Mirkarimi, S. O. Kucheyev |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Journal of Applied Physics. 131:075304 |
| ISSN: | 1089-7550 0021-8979 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|