Electrical test structures replicated in silicon-on-insulator material

Autor:	M.W. Cresswell, R.N. Ghoshtagore, R.A. Allen, L.W. Linholm, J.S. Villarrubia, J.J. Sniegowski
Rok vydání:	1996
DOI:	10.2172/221938
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::75d453ab03eca32556e8c91e20b4afbf https://doi.org/10.2172/221938 Zobrazit plný text záznamu