Detection of NH3 Using ZnO Thin Film Sensor Deposited on Si/SiO2 Substrate Derived by RF Magnetron Sputtering
| Autor: | Mohini Dwivedi, Ashok Sharma, Jitendra Bhargava, Vimal Vyas, G. Eranna |
|---|---|
| Rok vydání: | 2015 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Sensor Letters. 13:618-624 |
| ISSN: | 1546-1971 1546-198X |
| DOI: | 10.1166/sl.2015.3512 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|