Recent research progress of master mold manufacturing by nanoimprint technique for the novel microoptics devices

Autor: Yuhang Liu, Jianjun Lin, Zuohuan Hu, Guoli Gao, Bingyang Wang, Liuyi Wang, Zhiyuan Pan, Jianfei Jia, Qinwei Yin, Dengji Guo, Xujin Wang
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Frontiers of Materials Science. 16
ISSN: 2095-0268
2095-025X
DOI: 10.1007/s11706-022-0596-6
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: