Influence of Glycerol in Developer on Novolak-Type Positive-Tone Resist Solubility

Autor: Hideo Horibe, Yukiko Miyaji, Shunpei Kajita
Rok vydání: 2021
Předmět:
Zdroj: Journal of Photopolymer Science and Technology. 34:495-498
ISSN: 1349-6336
0914-9244
DOI: 10.2494/photopolymer.34.495
Databáze: OpenAIRE