Influence of Glycerol in Developer on Novolak-Type Positive-Tone Resist Solubility
Autor: | Hideo Horibe, Yukiko Miyaji, Shunpei Kajita |
---|---|
Rok vydání: | 2021 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Photopolymer Science and Technology. 34:495-498 |
ISSN: | 1349-6336 0914-9244 |
DOI: | 10.2494/photopolymer.34.495 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |