A Hypothesis Verification Method Using Regression Tree for Semiconductor Yield Analysis
Autor: | Hidetaka Tsuda, Kazuo Hashimoto, Hidehiro Shirai, Masahiro Terabe, Ayumi Shinohara |
---|---|
Rok vydání: | 2011 |
Předmět: | |
Zdroj: | IEEJ Transactions on Industry Applications. 131:1232-1239 |
ISSN: | 1348-8163 0913-6339 |
DOI: | 10.1541/ieejias.131.1232 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |