Ultraviolet Assisted Thermal Processing of SiOCH Zeolite Extreme Low-k Dielectric Materials

Autor:	Antonelli, George Andrew
Rok vydání:	2007
DOI:	10.13140/2.1.2522.8161
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::749f2cf07eb5ea26660459dafc252101 Zobrazit plný text záznamu