Multichannel probe measurements in a helium plasma in a hollow cathode discharge

Autor:	S.N. Andreev, A.V. Bernatskiy, V.N. Ochkin
Rok vydání:	2022
Předmět:	Condensed Matter Physics Instrumentation Surfaces Coatings and Films
Zdroj:	Vacuum. 206:111514
ISSN:	0042-207X
DOI:	10.1016/j.vacuum.2022.111514
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::73c24b2c62e75329a3224716903addca https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111514 Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect