Physical Sputtering and Sputter Deposition

Autor:	Donald M. Mattox
Rok vydání:	2018
Předmět:	Materials science Sputtering Metallurgy Sputter deposition
Zdroj:	The Foundations of Vacuum Coating Technology
DOI:	10.1016/b978-0-12-813084-1.00004-2
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::73af63c875ecaf1d133d26948f3a0031 https://doi.org/10.1016/b978-0-12-813084-1.00004-2 Zobrazit plný text záznamu