Beam Characterization for Scanning Electron Microscopes by the RPS and IPC Methods

Autor:	Kishio Hidaka, Sato Mitsugu, Jin Onuki, Tomoyo Sasaki
Rok vydání:	2015
Předmět:	Materials science Scanning electron microscope Nanotechnology Instrumentation Beam (structure) Characterization (materials science)
Zdroj:	Microscopy and Microanalysis. 21:54-59
ISSN:	1435-8115 1431-9276
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::73753cc93f153fe72d5f687bd2bf7926 https://doi.org/10.1017/s1431927615013136 Zobrazit plný text záznamu