Automated Sample Preparation of Low-k Dielectrics for FESEM

Autor:	Paul E. Fischione, R. R. Cerchiara, Steven J. Rozeveld, Charlie Wood, Joseph M. Matesa, David W. Smith, A. C. Robins, E. Beach, J. J. Gronsky, Joost Waeterloos
Rok vydání:	2005
Předmět:	Materials science Analytical chemistry Sample preparation Dielectric Instrumentation
Zdroj:	Microscopy and Microanalysis. 11
ISSN:	1435-8115 1431-9276
DOI:	10.1017/s143192760550463x
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7276426a3f53255a5fd46d4ecd0d3838 https://doi.org/10.1017/s143192760550463x Zobrazit plný text záznamu