Formation of Microstructures with a Given 3D-Profile Based on Epitaxial Films of Rare-Earth Iron-Garnet Using the Method of Ionic Etching

Autor: O. A. Tomilina, A. A. Syrov, S. V. Tomilin, V. N. Berzhansky
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Journal of Surface Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 16:843-846
ISSN: 1819-7094
1027-4510
DOI: 10.1134/s1027451022050378
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: