3D Lithography Using Talbot Effect
| Autor: | Naoki Ura, Yasuhiro Mizutani, Tsutomu Uenohara, Yoshihiko Makiura, Yasuhiro Takaya |
|---|---|
| Rok vydání: | 2021 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Proceedings of International Conference on Leading Edge Manufacturing in 21st century : LEM21. :163-168 |
| ISSN: | 2424-3086 |
| DOI: | 10.1299/jsmelem.2021.10.163-168 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|