基于MEMS微镜角度反馈的新型封装应力隔离结构
| Autor: | 钱磊 QIAN Lei, 胡杰 HU Jie, 单亚蒙 SHAN Yameng, 王俊铎 WANG Junduo, 周鹏 ZHOU Peng, 沈文江 SHEN Wenjiang |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ACTA PHOTONICA SINICA. 51:0551311 |
| ISSN: | 1004-4213 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
| Autor: | 钱磊 QIAN Lei, 胡杰 HU Jie, 单亚蒙 SHAN Yameng, 王俊铎 WANG Junduo, 周鹏 ZHOU Peng, 沈文江 SHEN Wenjiang |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ACTA PHOTONICA SINICA. 51:0551311 |
| ISSN: | 1004-4213 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|