Hermetic Sealing Method For High-speed Mcms
Autor: | M. Sawano, S. Iida, T. Handa, J. Utsunomiya |
---|---|
Rok vydání: | 2005 |
Předmět: | |
Zdroj: | Proceedings of Japan International Electronic Manufacturing Technology Symposium. |
DOI: | 10.1109/iemt.1993.639737 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |