基于石英MEMS技术的光纤法布里-珀罗高温压力传感器
| Autor: | 李加顺 LI Jiashun, 贾平岗 JIA Pinggang, 王军 WANG Jun, 刘佳 LIU Jia, 安国文 AN Guowen, 熊继军 XIONG Jijun |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ACTA PHOTONICA SINICA. 51:0606005 |
| ISSN: | 1004-4213 |
| DOI: | 10.3788/gzxb20225106.0606005 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|