Self‐Aligning Metallic Vertical Interconnect Access Formation through Microlensing Gas Phase Electrodeposition controlling Airgap and Morphology

Autor:	Leslie Schlag, Nishchay A. Isaac, Mohammad M. Hossain, Anna‐Lena Hess, Benedikt C. Wolz, Johannes Reiprich, Mario Ziegler, Jörg Pezoldt, Heiko O. Jacobs
Rok vydání:	2022
Předmět:	Electronic Optical and Magnetic Materials
Zdroj:	Advanced Electronic Materials. 9
ISSN:	2199-160X
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6c71663aa6a38910711c223339dfc2f9 https://doi.org/10.1002/aelm.202200838 Zobrazit plný text záznamu Plný text