Ion Beam Devices for Material Processing and Analysis

Autor:	Gerhard Hobler, H. W. P. Koops, H. Bluhm, F. Rüdenauer, Leopold Palmetshofer
Rok vydání:	2008
Předmět:	Materials processing Materials science Ion beam business.industry Optoelectronics Phase-shift mask business Focused ion beam
Zdroj:	Vacuum Electronics ISBN: 9783540719281
DOI:	10.1007/978-3-540-71929-8_5
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6be0e4d7dcc37efe72fcf279fdfbb143 https://doi.org/10.1007/978-3-540-71929-8_5 Zobrazit plný text záznamu