Maintenance Content Reduction and Digitalization for Performance Optimization

Autor:	Christopher Bode
Rok vydání:	2022
Zdroj:	2022 International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM).
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6b6be3f08266bbe351b33601d65f9220 https://doi.org/10.1109/issm55802.2022.10026947 Zobrazit plný text záznamu