Individual dopant profiles in high energy multiple implantation under channeling conditions
Autor: | Yoji Kawasaki, Takuya Sakaguchi, Makoto Sano, Haruka Sasaki |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | MRS Advances. 7:1459-1462 |
ISSN: | 2059-8521 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |