Adaptive NN-based Root Cause Analysis in Volume Diagnosis for Yield Improvement

Autor:	Min Qin, Cheng Chen, Ruosheng Xu, Xin Huang, Shangling Jui, Pengyun Li, Zhihao Ding, Yu Huang
Rok vydání:	2021
Předmět:	Yield (engineering) Volume (thermodynamics) Statistics Root cause analysis Mathematics
Zdroj:	ITC
DOI:	10.1109/itc50571.2021.00010
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::69a0046aac1b7c7ed668a4ab3d5ea1b0 https://doi.org/10.1109/itc50571.2021.00010 Zobrazit plný text záznamu