Fabrication Process of a Novel Digital Encoding Grating Ruler for Optical Displacement Sensors

Autor: 王宇 WANG Yu, 陈火耀 CHEN Huo-yao, 刘正坤 LIU Zheng-kun, 郑衍畅 ZHENG Yan-chang, 洪义麟 HONG Yi-lin, 付绍军 FU Shao-jun
Rok vydání: 2015
Předmět:
Zdroj: ACTA PHOTONICA SINICA. 44:405001
ISSN: 1004-4213
DOI: 10.3788/gzxb20154404.0405001
Databáze: OpenAIRE