Short-pulse high-power dual magnetron sputtering

Autor:	V.O. Oskirko, A.N. Zakharov, V.A. Semenov, A.P. Pavlov, A.S. Grenadyorov, S.V. Rabotkin, A.A. Solovyev
Rok vydání:	2022
Předmět:	Condensed Matter Physics Instrumentation Surfaces Coatings and Films
Zdroj:	Vacuum. 200:111026
ISSN:	0042-207X
DOI:	10.1016/j.vacuum.2022.111026
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::696ff92314bded1e01a8876dd9f466b7 https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111026 Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect