Growth Features and Phase Composition of Hf–Sc–O thin Films Synthesized by Atomic Layer Deposition

Autor:	D. E. Petukhova, E. S. Vikulova, I. V. Korolkov, S. Ya. Khmel, M. S. Lebedev
Rok vydání:	2023
Předmět:	Inorganic Chemistry Materials Chemistry Physical and Theoretical Chemistry
Zdroj:	Journal of Structural Chemistry. 64:424-436
ISSN:	1573-8779 0022-4766
DOI:	10.1134/s0022476623030083
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6894da1e71fadce35ea8afd175b06bc8 https://doi.org/10.1134/s0022476623030083 Zobrazit plný text záznamu Plný text ve formátu PDF