Autor:	Jae Kyoung Mun, Heejoong Ryou, Kyu Jun Cho, Woojin Chang, Hun Ki Lee
Rok vydání:	2022
Zdroj:	2022 6th IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference (EDTM).
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::682d41734da2c3a681e5741cf55ad8f7 https://doi.org/10.1109/edtm53872.2022.9798384 Zobrazit plný text záznamu