Detection of hydrogen in inert gases using a piezoelectric crystal coated with palladium

Autor: Satsuki Abe, Fumikazu Mizutani, Tadao Yoshida
Rok vydání: 1987
Předmět:
Zdroj: NIPPON KAGAKU KAISHI. :472-476
ISSN: 2185-0925
0369-4577
Popis: パラジウムを真空蒸着した水晶発振子を用いて不活性ガス中の水素の検知を試みた。この水素ガスセンサーはパラジウム薄膜への水素の吸収による素子の質量変化に比例した発振周波数の変化を出力として取りだすものである。本素子の室温における応答および回復にやや時間がかかるものの,水素分圧は250～5000ppmの範囲で周波数変化(出力ΔF)と比較的よい直線関係を示した。水素検出に影響を与えるパラメーターとして,流量(100～500ml/min),温度(25～100℃)の影響について調べた結果,キャリヤーガス流量の影響はほとんど見られず,温度については高温側で感度が減少するが,応答時間,回復時間は短縮され良好となる。また,水素に対する選択性も高い。水素吸収,放出サイクルの再現性は優れており,水素の吸収,放出の速度は薄膜に吸収されている水素に対して一次の式に回帰できることが確かめられた。これは表面移動過程が水素の吸収,放出において律速段階であると考えると説明できる。
Databáze: OpenAIRE
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