Selective Laser Annealing Technology for LTPS Thin Film Transistors Fabrications

Autor:	T. Goto, K. Imokawa, T. Yamada, K. Saito, J. Gotoh, H. Ikenoue, S. Sugawa
Rok vydání:	2019
Předmět:	Laser annealing Materials science Thin-film transistor business.industry Optoelectronics business
Zdroj:	Extended Abstracts of the 2019 International Conference on Solid State Devices and Materials.
DOI:	10.7567/ssdm.2019.g-2-01
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::66c1d9d79a20c9e2357daeaa6cbd32e2 https://doi.org/10.7567/ssdm.2019.g-2-01 Zobrazit plný text záznamu