Improvement in Reliability of a Polyimide Capacitive Humidity Sensor

Autor: Tetsuya Sakamoto, Yoshinobu Takegami, Masasi Kanehori, Shinji Nakagomi, Tatsuo Yamamoto
Rok vydání: 1993
Předmět:
Zdroj: IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems. 113:347-352
ISSN: 1348-8155
0385-4221
DOI: 10.1541/ieejeiss1987.113.5_347
Databáze: OpenAIRE