Corrigendum to 'Fabrication of polycrystalline silicon thin films by gold-induced crystallization of amorphous silicon suboxide' [Vacuum 192 (2021) 110462]

Autor: A.O. Zamchiy, E.A. Baranov, S.V. Starinskiy, N.A. Lunev, I.E. Merkulova
Rok vydání: 2023
Předmět:
Zdroj: Vacuum. 208:111713
ISSN: 0042-207X
DOI: 10.1016/j.vacuum.2022.111713
Databáze: OpenAIRE