An Improved Static Membrane Deflection Analysis for Collapse Mode CMUT Fabricated by Sacrificial Release Method
| Autor: | Jiujiang Wang, Xin Liu, Yuanyu Yu, Ching-Hsiang Cheng, Kin Fong Lei, Peng Un Mak, Mang I Vai, Sio Hang Pun |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | IEEE Sensors Journal. 23:2364-2374 |
| ISSN: | 2379-9153 1530-437X |
| DOI: | 10.1109/jsen.2022.3232716 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|