Reaktionskontrollierte chemische Gasphasenabscheidung von Silicium durch Pyrolyse von Silan

Autor: Heinz Kühne
Rok vydání: 1992
Předmět:
Zdroj: Chemie Ingenieur Technik. 64:302-303
ISSN: 0009-286X
DOI: 10.1002/cite.330640330
Databáze: OpenAIRE