Reaktionskontrollierte chemische Gasphasenabscheidung von Silicium durch Pyrolyse von Silan
Autor: | Heinz Kühne |
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Rok vydání: | 1992 |
Předmět: | |
Zdroj: | Chemie Ingenieur Technik. 64:302-303 |
ISSN: | 0009-286X |
DOI: | 10.1002/cite.330640330 |
Databáze: | OpenAIRE |
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