3-D Chip Integration Technology for Microsystems

Autor: Alexander Kaiser, Andreas Munding, Peter Benkart, Markus Bschorr, Arne Heittmann, Holger Huebner, Hans-Joerg Pfleiderer, Ulrich Ramacher, Erhard Kohn
Rok vydání: 2006
Zdroj: ECS Meeting Abstracts. :1763-1763
ISSN: 2151-2043
DOI: 10.1149/ma2005-01/45/1763
Popis: not Available.
Databáze: OpenAIRE