Epitaxial growth of TiC on (0001) 4H-SiC substrate by reactive sputtering
Autor: | Kun-An Chiu, Jing-Feng Lin, Kuan-Yu Lin, Ping-Hsun Wu, Hsueh-I Chen, Cheng-Jung Ko, Chun-Hua Chen, Li Chang |
---|---|
Rok vydání: | 2023 |
Předmět: | |
Zdroj: | Thin Solid Films. 775:139874 |
ISSN: | 0040-6090 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |