Inexpensive radiant substrate heater for vacuum use

Autor:	F. J. Tams, D. M. Hoffman
Rok vydání:	1976
Předmět:	Materials science business.industry General Engineering Optoelectronics Substrate (printing) business
Zdroj:	Journal of Vacuum Science and Technology. 13:647-648
ISSN:	0022-5355
DOI:	10.1116/1.569050
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::651cb7e84f7cbe9427f795b1313342b0 https://doi.org/10.1116/1.569050 Zobrazit plný text záznamu