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Niob dotiertes Titanoxid ist ein noch weitestgehend unbekanntes TCO-Material. Mittels Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern wurden polykristalline TiO2:Nb-Schichten in einer produktionsahnlichen Beschichtungsanlage abgeschieden und die Eigenschaften der Schichten untersucht. Eine mittels Gleichstrom gesputterte 100 nm dicke TiO2:Nb-Schicht zeigt nach einer thermischen Behandlung bei 450 °C einen niedrigen spez. elektr. Widerstand von 7,2 × 10−4 Ωcm, einen Extinktionskoeffizienten von 0,02 und eine Transmission im sichtbaren Spektralbereich von 74,8%. Transparent conductive TiO2:Nb – a TCO material of the future? Niobium doped titania is a widely unknown TCO material. We present the results of TiO2:Nb thin films deposited by DC and pulse DC sputtering from a ceramic titania target with a content of approximately 6 wt.-percent Nb in a pilot scale in-line sputtering plant. With DC sputtering on Borofloat 33 substrate a 100 nm thin film show after annealing at 450 °C a resistivity of 7.2 × 10−4 Ωcm with a low extinction coefficient of 0.02 and a transmittance in the visible range of 74.8%. |
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