X-ray study of near-surface strain in implanted silicon

Autor:	J.F. Barhorst, S.S. Goldenberg, B.C. Larson
Rok vydání:	1981
Předmět:	Materials science Silicon chemistry Structural Biology Surface strain X-ray Analytical chemistry chemistry.chemical_element
Zdroj:	Acta Crystallographica Section A Foundations of Crystallography. 37:C253-C253
ISSN:	0108-7673
DOI:	10.1107/s0108767381092064
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::647e5357d607080908f3f39cd2dd0058 https://doi.org/10.1107/s0108767381092064 Zobrazit plný text záznamu