Contactless electromodulation for in situ characterization of semiconductor processing

Autor:	X. Yin, X. Guo, F.H. Pollak, G.D. Pettit, D.T. McInturff, J.M. Woodall, Eun-Hee Cirlin
Rok vydání:	1993
DOI:	10.1016/b978-0-444-89908-8.50034-9
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::63c953c2f3ade5fa372ba8ddc0f7ff60 https://doi.org/10.1016/b978-0-444-89908-8.50034-9 Zobrazit plný text záznamu