Diffusion of Impurities in Undercooled Melt of Pulse Heated Ion-Implanted Silicon

Autor:	A. V. Dvurechenskii, R. Grotzschel, N. M. Igonina, B. A. Koval, N. I. Lebedeva
Rok vydání:	1984
DOI:	10.1515/9783112501764-022
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::63b1db0e78d407fe6427ca6ee4d31507 https://doi.org/10.1515/9783112501764-022 Zobrazit plný text záznamu