Depth Profiling Biaxial Stresses in Sputter Deposited Molybdenum Films; Use of the Cos2ϕ Method

Autor:	B. L. Ballard, P. K. Predecki, T. R. Watkins, K. J. Kozaczek, D. N. Braski, C. R. Hubbard
Rok vydání:	1997
Zdroj:	Advances in X-Ray Analysis ISBN: 9780306458033
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6343991487167ee4d6d3e65ad01aa35e https://doi.org/10.1007/978-1-4615-5377-9_40 Zobrazit plný text záznamu