Electron emission enhanced diamond nucleation via the bias-enhanced HFCVD process on silicon and nickel silicides

Autor:	Francois Le Normand, S.Rey, C.S. Cojocaru, G. Ehret, B. Prévôt, H. Kubler, C. Speisser
Rok vydání:	2000
DOI:	10.13140/rg.2.2.19951.02720
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::615f90ded913a4f923ccc3d09acb0ff8 Zobrazit plný text záznamu