21114 Fabrication of Si nano-holes and Cu fill using supercritical CO_2

Autor:	Kakeru Tamai, Masahiro Matsubara, Michio Matsubara, Eiichi Kondoh, Chia Lung Lee
Rok vydání:	2009
Předmět:	Fabrication Materials science Chemical engineering Nano Supercritical fluid
Zdroj:	The Proceedings of Conference of Kanto Branch. :475-476
ISSN:	2424-2691
DOI:	10.1299/jsmekanto.2009.15.475
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::610bba27e10760056ad8a91d29c7e76c https://doi.org/10.1299/jsmekanto.2009.15.475 Zobrazit plný text záznamu