Nutzung von Werkstoffstrukturgrößen als Messnormale

Autor: L. Spieß, Ch. Knedlik
Rok vydání: 2003
Předmět:
Zdroj: Materialwissenschaft und Werkstofftechnik. 34:648-653
ISSN: 1521-4052
0933-5137
DOI: 10.1002/mawe.200390130
Popis: Messen von Langen ist ein Vergleichen/Bewerten von erhaltenen Messsignalen mit einem Standard/Kalibriermassstab. Die Nanotechnik erfordert Messgenauigkeiten vom Submeter bis zum Nanometerbereich, d. h. ein Uberstreichen von 9 Grosenordnungen. Messmarken und mogliche Messnormale werden nach ihren Erfordernissen klassifiziert und auf Anforderungen, Genauigkeit, Stabilitat, Datenmengen und Machbarkeit analysiert. Fur eine Nanopositionier- und –messmaschine werden Vorschlage fur eine Realisierbarkeit zusammengefasst. Use of material structure sizes as measuring-normal Lengths measurement is a comparison/evaluating of received measuring signals with a standard/calibration yardstick. The nano-technology requires measuring accuracies from the submeter to the nanometer range, i.e. a range over 9 orders of magnitude. Strobes and possible measuringnormal are classified according to their requirements and analyzed on requirements, accuracy, stability, data sets and feasibility. For nano-position- and nano-measuring-maschine are summarized suggestions for a feasibility.
Databáze: OpenAIRE
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