Autor:	Klaus Vogel, Silvia Braun, Christian Hofmann, Mathias Weiser, Maik Wiemer, Thomas Otto, Harald Kuhn
Rok vydání:	2021
Zdroj:	3D and Circuit Integration of MEMS. :309-329
DOI:	10.1002/9783527823239.ch14
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::60dcbabd04c6737bf2a1ea21925ff0e3 https://doi.org/10.1002/9783527823239.ch14 Zobrazit plný text záznamu