Generation, Removal, and Passivation of Plasma Process Induced Defects

Autor:	Stella Pang
Rok vydání:	2022
Zdroj:	Defects in Optoelectronic Materials ISBN: 9780367811297
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::603fc81c29436ff78a5b73bb97164bf1 https://doi.org/10.1201/9780367811297-6 Zobrazit plný text záznamu