Distortion of the Profile and Size of a Protrusion at its Scanning in SEM with a Diffusion Pump

Autor:	Yu.V. Larionov
Rok vydání:	2020
Předmět:	Materials science Diffusion pump Optics Control and Systems Engineering business.industry Distortion Electrical and Electronic Engineering business
Zdroj:	Nano- i mikrosistemnaya tehnika. 22:179-185
ISSN:	1813-8586
DOI:	10.17587/nmst.22.179-185
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5f38f28fc9aa34c9bfc98836d5320afe https://doi.org/10.17587/nmst.22.179-185 Zobrazit plný text záznamu