Metrology with scanning probe microscopes
Autor: | Christie R. K. Marrian, D. A. Grigg, J. E. Griffith, M.J. Vasile, Greg Kochanski, Phillip E. Russell |
---|---|
Rok vydání: | 1993 |
Předmět: | |
Zdroj: | SPIE Proceedings. |
ISSN: | 0277-786X |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |