An optimization model for qualification management in wafer fabs

Autor:	Denny Kopp, Lars Monch, Detlef Pabst, Marcel Stehli
Rok vydání:	2016
Zdroj:	2016 Winter Simulation Conference (WSC).
DOI:	10.1109/wsc.2016.7822299
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5bf2c9894ee8294a3dbd3c7d8793965e https://doi.org/10.1109/wsc.2016.7822299 Zobrazit plný text záznamu